一、壓力傳感器實驗目的：了解擴散硅壓阻式壓力傳感器測量壓力的原理和標定方法。
二、壓力傳感器基本原理：擴散硅壓阻式壓力傳感器的工作機理是半導體應變片的壓阻效應，在半導體受力變形時會暫時改變晶體結構的對稱性，因而改變了半導體的導電機理，使得它的電阻率發生變化，這種壓力傳感器物理現象稱之為半導體的壓阻效應 。一般半導體應變采用N型單晶硅為傳感器的彈性元件，在它上面直接蒸鍍擴散出多個半導體電阻應變薄膜（擴散出P型或N型電阻條）組成電橋。在壓力（壓強）作用下彈性元件產生應力，半導體電阻應變薄膜的電阻率產生很大變化，引起電阻的變化，經電橋轉換成電壓輸出，則其輸出電壓的變化反映了所受到的壓力變化。圖為壓阻式壓力傳感器壓力測量實驗原理圖。 壓阻式壓力傳感器壓力測量實驗原理
三、壓力傳感器需用器件與單元：壓力傳感器主機箱中的氣壓表、氣源接口、電壓表、直流穩壓電源±15V、 ±2V～±10V（步進可調）；壓阻式壓力傳感器、壓力傳感器實驗模板、引壓膠管。
四、壓力傳感器實驗步驟：
1、壓力傳感器按示意圖安裝傳感器、連接引壓管和電路：將壓力傳感器安裝在壓力傳感器實驗模板的傳感器支架上；引壓膠管一端插入主機箱面板上的氣源的快速接口中（注意管子拆卸時請用雙指按住氣源快速接口邊緣往內壓，則可輕松拉出），另一端口與壓力傳感器相連；壓力傳感器引線為4芯線(專用引線)，壓力傳感器的 1端接地，2端為輸出Vo＋，3端接電源＋4V，4端為輸出Vo－。具體接線見下圖。 壓阻式壓力傳感器測壓實驗安裝、接線示意圖
2、壓力傳感器將主機箱中電壓表量程切換開關切到2V檔；可調電源±2V～±10V調節到±4V檔。實驗模板上RW1用于調節放大器增益、RW2用于調零，將RW1調節到的1／3位置(即逆時針旋到底再順時針旋3圈)。合上主機箱電源開關，仔細調節RW2使主機箱電壓表顯示為零。
3、壓力傳感器合上主機箱上的氣源開關，啟動壓縮泵，逆時針旋轉轉子流量計下端調壓閥的旋鈕，此時可看到流量計中的滾珠在向上浮起懸于玻璃管中，同時觀察氣壓表和電壓表的變化。
4、壓力傳感器調節流量計旋鈕，使氣壓表顯示某一值，觀察電壓表顯示的數值。
5、壓力傳感器仔細地逐步調節流量計旋鈕，使壓力在2kPa～18kPa之間變化（氣壓表顯示值），每上升1kPa氣壓分別讀取電壓表讀數，將數值列于表8。 壓阻式壓力傳感器測壓實驗數據 P(kPa) Vo(p-p)
6、壓力傳感器畫出實驗曲線計算本系統的靈敏度和非線性誤差。
7、壓力傳感器如果本實驗裝置要成為一個壓力計，則必須對電路進行標定，方法采用逼近法：輸入4kPa氣壓，調節Rw2（低限調節），使電壓表顯示0.3V(有意偏小)，當輸入16kPa氣壓，調節Rw1（高限調節）使電壓表顯示1.3V(有意偏小)；再調氣壓為4kPa，調節Rw2（低限調節），使電壓表顯示0.35V(有意偏小)，調氣壓為16kPa，調節Rw1（高限調節）使電壓表顯示1.4V(有意偏小)；這個過程反復調節直到逼近自己的要求(4kpa對應0.4V，16kpa對應1.6V)即可。實驗完畢，關閉壓力傳感器電源.
