一、實驗目的：
了解擴散硅壓阻式壓力傳感器測量壓力的原理與方法。
二、實驗儀器
壓力傳感器模塊、溫度傳感器模塊、數顯單元、直流穩壓源+4V、±15V。
三、實驗原理
在具有壓力傳感器壓阻效應的半導體材料上用擴散或離子注入法，，形成4個阻值相等的電阻條。并將它們連接成惠斯通電橋，電橋電源端和輸出端引出，用制造集成電路的方法封裝起來，制成擴散硅壓阻式壓力傳感器。平時敏感芯片沒有外加壓力作用，內部電橋處于平衡狀態，當傳感器受壓后芯片電阻發生變化，電橋將失去平衡，給電橋加一個恒定電壓源，電橋將輸出與壓力對應的電壓信號，這樣傳感器的電阻變化通過電橋轉換成壓力信號輸出。
四、實驗內容與步驟
1. 擴散硅壓力傳感器MP×10已安裝在壓力傳感器模塊上，將氣室1、2的壓力傳感器活塞退到20ml處，并按圖4-1接好氣路系統。其中P1端為正壓力輸入、P2端為負壓力輸入，P×10有4個引出腳，1腳接地、2腳為 Uo＋、3腳接+5V電源、4腳為Uo﹣；當P1＞P2時，輸出為正；當P1＜P2時，輸出為負。
2. 檢查氣路系統，分別推進氣室1、2的兩個活塞，對應的氣壓計有顯示壓力值并能保持不動。
3. 接入+4V、±15V直流穩壓電源，模塊輸出端Uo2接控制臺上數顯直流電壓表，選擇20V檔，打開實驗臺總電源。]
4. 調節Rw2到適當位置并保持不動，用導線將差動放大器的輸入端Ui短路，壓力傳感器然后調節Rw3使直流電壓表200mV檔顯示為零，取下短路導線。
5. 退回氣室1、2的兩個活塞，使兩個氣壓計均指在“零”刻度處，將MP×10的輸出接到差動放大器的輸入端Ui，調節Rw1使直流電壓表200mv檔顯示為零。
6. 保持負壓力輸入P2壓力零不變，增大正壓力輸入P1的壓力，每隔0.005Mpa記下模塊輸出Uo2的電壓值。直到P1的壓力達到0.095Mpa；填入表4-1。
P(KP) Uo2(V)
7. 保持正壓力輸入P1壓力0.095Mpa不變，增大負壓力輸入P2的壓力，壓力傳感器每隔0.005Mpa記下模塊輸出Uo2的電壓值。直到P2的壓力達到0.095Mpa；填入表4-2。
P(KP) Uo2(V)
8. 保持負壓力輸入P2壓力0.095Mpa不變，減小正壓力輸入P1的壓力，壓力傳感器每隔0.005Mpa記下模塊輸出Uo2的電壓值。直到P1的壓力達到0.0Mpa；填入表4-3。
P(KP) Uo2(V)
9. 保持負壓力輸入P1壓力0Mpa不變，減小正壓力輸入P2的壓力，每隔
0.005Mpa記下模塊輸出Uo2的電壓值。直到P2的壓力達到0.0Mpa；填入表4-4
P(KP) Uo2(V)
五、實驗報告
1. 根據表4-1、4-2、4-3所得數據，計算壓力傳感器輸入P（P1-P2）－輸出Uo2曲線。計算靈敏度L=△U／△P，非線性誤差δf。
