繼推出硅基MEMS麥克風芯片后,蘇州敏芯微電子技術有限公司(MEMSensing Microsystems Co., Ltd.)日前又推出了1.4mm×1.4mm×0.7mm外形尺寸MEMS絕對壓力傳感器芯片,主要針對量程為15PSI的高度表市場,并已開始提供樣品.
據敏芯微電子介紹,其MEMS壓力傳感器芯片典型滿量程輸出范圍為100kPa,壓力傳感器在加載電壓5V的情況下,滿量程靈敏度為100mV,橋臂電阻典型值為5k歐姆,零位輸出在+-30mV之間,靈敏度溫度系數為-19%FS/100度.敏芯微電子稱,其在國內率先獨家推出的MEMS絕對壓力傳感器芯片,可同時兼容開環和閉環橋臂兩種應用,極大方便了客戶使用.
目前,敏芯微電子可以芯片或晶圓的形式向客戶供貨,初期將供應基于4寸晶圓的芯片,外形尺寸為1.4mm×1.4mm×0.7mm之版本.今后,為滿足部分客戶對芯片超薄尺寸的要求,也將提供芯片外形尺寸為1.4mm×1.4mm×0.5mm之版本.
敏芯微電子還將陸續推出其它量程的產品來滿足不同客戶之需求,預計將于2010年初提供滿量程壓力變送器范圍為100PSI及300PSI之產品,此系列之產品將進一步縮小芯片體積,設計外形尺寸為1.1mm*1.1mm*0.7mm.同時,公司也可根據客戶需求來定制MEMS壓力傳感器芯片,來滿足某些特種需求.
