形成低壓感測的硅微機械元件由同類工藝制造，以形成標準的壓力量程元件，但存在關鍵的區別。標準量程的元件包括蝕刻在薄隔膜上的電阻橋（惠斯通方式）。當電壓源激勵的壓力形成隔膜偏移時就會改變電阻值并且引起輸出電壓的變化。低壓硅傳感器工作與此類似，但也存在明顯的特征，壓力傳感器包括突起的隔膜結構和用于應力集中的約50%的隔膜面積。精確地蝕刻薄膜厚度和策略的放置電阻也能極大地擴大傳感器的容量。另外，硅傳感器采用傳統的半導體批處理工藝也會出現其規模生產的成本優勢。
低壓硅傳感器通常用于以下三個主要市場：
HVAC.低壓傳感器是加熱、通風和空調系統中不可缺少的部件。在其它應用中，它們可以監測通風和空氣流量，確定氣流的體積，檢測由于弄臟的過濾器變化引起的負荷問題以及控制整個系統的壓力。這些應用都要求產品在0.015 psi能檢測出壓力差別。
醫藥.如果沒有小尺寸的傳感器，許多醫學應用都不可能檢測環境變化和條件。所以設計必壓力變送器須滿足如下要求：相對小的傳感器（1–2 mm），能測量人體內的流體壓力。這些裝置一般為導尿管器件，它們可以插入頭蓋骨、心腔或子宮，以實時監測棘手的外科手術，這種情況絕對了產品為一次性的低價品。用于呼吸計的低壓產品要求傳感器量程在0.5 psi以下。這些作業以前由根據時間變化的機械壓力開關執行。
汽車.低費用和高可靠性是組成感測外部汽車條件的基本要素，包括噴射、汽油蒸汽和排氣裝置。新近的汽車都采用硅傳感器監測輪胎、管線和剎車壓力。硅半導體傳感器的應用范圍也可擴展到制造封裝技術以保護汽車元件在惡劣環境條件下的使用。
