從中國(guó)機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會(huì)獲悉，近日，中國(guó)機(jī)械工業(yè)集團(tuán)有限公司所屬沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院承擔(dān)的沈陽(yáng)市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展計(jì)劃項(xiàng)目“高性能硅電容壓力傳感器”順利通過驗(yàn)收。
該項(xiàng)目采用先進(jìn)的微電子和微機(jī)械加工相結(jié)合的工藝技術(shù)，在硅電容傳感器設(shè)計(jì)、制造工藝技術(shù)、傳感器封裝結(jié)構(gòu)等方面具有創(chuàng)新性，解決了硅電容傳感器研制的工藝技術(shù)難題，開發(fā)研制出完全擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的新型高性能硅電容差壓傳感器產(chǎn)品，技術(shù)水平達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、國(guó)際一流。汽車油耗監(jiān)控
項(xiàng)目建成了年產(chǎn)1萬(wàn)臺(tái)的硅電容差壓傳感器生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品的系列化生產(chǎn)，并首次實(shí)現(xiàn)智能變送器產(chǎn)品核心傳感器的國(guó)產(chǎn)化配套，打破了國(guó)外的技術(shù)封鎖，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白。同時(shí)，作為上游核心器件，該項(xiàng)研究也帶動(dòng)了傳感器、變送器及相關(guān)儀表產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，對(duì)推進(jìn)高端裝備制造產(chǎn)業(yè)鏈延伸起到了積極作用。數(shù)字壓力開關(guān)
