據IHS iSuppli公司的MEMS與傳感器研究報告,由于價格相對較高,以及在汽車、醫療與工業等領域的應用范圍不斷擴大,壓力傳感器到2014年將成為銷售額最高的微機電系統(MEMS)器件。
因為汽車產業在衰退之后強勁復蘇,去年壓力傳感器銷售額比2009年增長26%,達到12.2億美元,在所有MEMS器件中排名第二。今年增長將比較溫和,預計增長6%,銷售額將達到13億美元,但預計2012年增長率將達到兩位數。壓力傳感器
憑借穩步擴張,壓力傳感器三年后將成為銷售額最高的MEMS器件,力壓無處不在的加速計與越來越受歡迎的陀螺儀。由于補償水平、裸片校準與封裝類型的不同,MEMS壓力傳感器的平均價格目前相差很大,面向高價值工業與醫療應用的從幾美元到幾十美元不等,而面向飛機液壓系統或飛行數據測量等最專業應用的則高達幾百美元,包括在惡劣的介質、溫度和壓力條件下的工業應用組合。
到2015年,MEMS壓力傳感器銷售額將達到19.7億美元,如圖1所示,2010-2015年的復合年度增長率為10%。
MEMS壓力傳感器是一種薄膜元件,受到壓力時變形。可以利用應變儀(壓阻型感測)來測量這種形變,也可以通過電容感測兩個面之間距離的變化來加以測量。這兩種方法都很流行,輪胎壓力監測系統使用比較結實的壓阻方法。壓力變送器
汽車產業仍然是MEMS壓力傳感器的最大應用領域,占其銷售額的72%,其次是醫療電子占12%,工業領域占10%,消費電子與軍用航空占據其余的6%市場。
在汽車領域,引擎管理是其主要應用,包括汽油發動機中的歧管空氣壓力傳感器和柴油車中的共軌壓力傳感器,尤其是在歐洲。為了改善燃燒情況,有些組織也在研究可以在汽缸內工作的壓力傳感器,以更好地測量參與化學反應的各種物質的準確比例,并把數據反饋給引擎管理系統。數字壓力表
由于工作環境惡劣,汽車傳感器的價格比消費類傳感器高得多。另外,汽車傳感器需要較長的鑒定時間,而且這些傳感器必須能可靠工作長達15年的時間。有些傳感器,比如剎車或輪胎壓力傳感器,對于汽車安全至關重要。